半导体微纳机电器件与系统SCI期刊三区推荐

期刊名称：Materials Science in Semiconductor Processing
ISSN：1369-8001
出版地区：United Kingdom
出版周期：双月刊
中科院分区：3区
JCR分区：Q2
大类学科：工程技术
小类学科：材料科学、半导体加工
影响因子：3+
研究方向：重点发表电子与电气工程、材料科学、应用物理、凝聚态物理等相关方向的文章，涵盖微电子学、能量转换与存储、通信、生物技术、催化、纳米和薄膜技术、混合和复合材料、化学处理、气相沉积、器件制造和模拟等领域。
出版商：Elsevier Ltd